Općenito postoje dva procesa liječenja za otpadnih plinova u silikonskoj industriji nafte
RTO Regenerativni toplotni izgaranjeiMetoda spreja + aktivirana adsorpcija ugljika. Uređaj za prečišćavanje izduvnih plinova uključuje separator na plin, dubok kondenzator, kula za pranje kiseline, kula za pranje alkalije, suvi filter, RTO katalitičko peć za sagorevanje i ispušni dimnjak.